Verfahren sowie Vorrichtung zum Behandeln von Gegenständen, insbesondere zum Reinigen von Halbleiterelementen

Die Erfindung bezieht sich auf das kontinuierliche Reinigen von Gegenstanden, insbesondere von Halbleiterelementen, mit Ultraschall, wobei die zu reinigenden Gegenstande in einer Flussigkeit angeordnet sind. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung zur Durchfuhrung des erfindungsgemasen Verfahrens. Ein erfindungswesentlicher Gedanke der Erfindung ist, dass die Oberflache eines zu reinigenden Gegenstandes (2) in einem mit Fluid gefullten Becken (5) mindestens ein Schwingungsmaximum erfahrt, das von mindestens einer im Becken (5) vorgesehenen Schallquelle (8a) ausgesendet wird. Eine Ausfuhrung sieht dabei vor, die in dem Becken (5) angeordneten Schallquellenfelder (8) schrag zur Ebene der Transportrichtung (4) anzuordnen.