光学素子、これを用いた露光装置、及びデバイス製造方法

【課題】 耐酸化性及び非露光光吸収という２つの性質を両立するように組み込むことによって光学特性を向上させた光学素子を提供すること。 【解決手段】 保護層３０は、その組成を深さ方向に変化させて形成されており、多層膜２０の最表層上である薄膜層Ｌ１上に設けられる界面側層３１と、界面側層３１上に設けられて光学素子１００の最表面とされる表面側層３２と、中間層３３とを有する。界面側層３１は、光源から非露光光を相対的に吸収する性質を有する。また、表面側層３２は、多層膜２０の表面が酸化するのを抑制する。これにより、露光装置内において極端紫外線が照射されても光学素子１００表面の反射率低下の抑制、非露光光の反射の低減が可能となる。