フェノール化合物、ポジ型感光性樹脂組成物、半導体装置及び表示素子、並びに半導体装置及び表示素子の製造方法
2004
【課題】 高感度で、かつ高解像度であるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】 アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部、感光性ジアゾキノン化合物(B)1〜50重量部及び一般式(1)(2)又は(3)で示される構造を有するフェノール化合物(C)1〜30重量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物であり、膜減りが少なく、パターン形状の崩れがなく、更に露光部の感光性樹脂組成物の残り(スカム)がない特性を有する高感度で、かつ高解像度という優れた特徴を有している。 【化36】
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