CROISSANCE DE BaSrTiO3 AU MOYEN DE PRECURSEURS A BASE DE POLYAMINES

L'invention concerne un procede de formation d'une couche mince de BaSrTiO3 sur un substrat (224) dans une zone (300) de depot chimique en phase vapeur, avec transport d'une composition de precurseur metallique destinee a la couche mince contenant du metal vers la zone (300) de depot chimique en phase vapeur par l'intermediaire d'un appareil (210) d'apport de liquide comprenant un vaporisateur (215). Une matiere precurseur liquide est fournie a l'appareil (210) d'apport de liquide afin de la vaporiser pour produire la composition de precurseur metallique en phase vapeur. On fait s'ecouler la composition de precurseur metallique en phase vapeur vers la zone (300) de depot chimique en phase vapeur afin de proceder au depot de metal sur le substrat pour former la couche mince contenant du metal. La matiere precurseur liquide comprend un complexe polyamine organometallique, dont l'utilisation permet l'exploitation prolongee du procede de depot chimique en phase vapeur a apport de liquide entre les interventions d'entretien, du fait des faibles niveaux de decomposition atteints lors de la vaporisation du precurseur a complexe polyamine.