Kapazitive Druckmesszelle zur Erfassung des Druckes eines an die Messzelle angrenzenden Mediums

2013 
Die Erfindung betrifft eine kapazitive Druckmesszelle (1) zur Erfassung des Druckes eines an die Druckmesszelle (1) angrenzenden Mediums, die eine elastische Messmembran (2), deren erste Seite (2a) zumindest teilweise mit dem Medium in Kontakt steht und deren von dem Medium abgewandten zweiten Seite (2b) eine Messelektrode (7) und zur Temperaturmessung ein Widerstandselement aus einem Werkstoff mit temperaturabhangigem Widerstand aufweist, und die einen der zweiten Seite (2b) der Messmembran (2) gegenuberliegend angeordneten Grundkorper (3) mit einer eine Messkapazitat mit der Messelektrode (7) bildenden Gegenelektrode (8) umfasst. Erfindungsgemas ist vorgesehen, dass das Widerstandselement als Widerstandschicht (4) zwischen der zweiten Seite (2b) der Messmembran (2) und der Messelektrode (7) ausgebildet ist.
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