真空槽の構成部品の製造方法、該部品の再生方法、基板搬送トレイの製造方法、及び基板搬送トレイの再生方法

【課題】成膜中に塵や不純物ガスを発生しない部品を提供する。 【解決手段】枠体１１の処理面１４をサンドブラスト処理してから、該処理面１４をリン酸を含む処理液でエッチングすると、サンドブラスト処理の際に、処理面１４に付着した付着物は、処理面１４に露出するチタンが処理液に溶解することで除去され、清浄な付着面１５が得られる。付着面１５はアンカー効果を発現する程表面粗さが大きいから、成膜中に薄膜２１が剥がれない。また、枠体１１が加熱されても、リン酸を放出しないから、不純物が発生しない。 【選択図】図３