BESONDERHEITEN DER HETEROGENEN RK. IN SYST. MIT BETEILIGUNG VON SIO2 UND AL, CR, V ODER MO

Ya. A. Ugai,V. G. Kolesnikov,V. Z. Anokhin,S. V. Fetisova

BESONDERHEITEN DER HETEROGENEN RK. IN SYST. MIT BETEILIGUNG VON SIO2 UND AL, CR, V ODER MO

1973

Ya. A. Ugai
V. G. Kolesnikov
V. Z. Anokhin
S. V. Fetisova

Die Abscheidungsbedingungen von Al, V, Cr und M0 auf Siuz-Schichten auf Si beeinflussen auch die elektrischen Eigenschaften der entstehenden MOS- Halbleiterbauelemente.

Keywords:

Inorganic chemistry
Chemistry
Nuclear chemistry

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