圧電共振子及びそれを用いた圧電フィルタ・デュプレクサ・通信装置

2002 
(57)【要約】 【課題】スプリアス振動の影響をきわめて小さくできる 圧電共振子などを提供する。 【解決手段】基板2と、基板2に形成されている、少な くとも1層以上の圧電薄膜を有する薄膜部の上下面を少 なくとも一対の上部電極6及び下部電極5を厚み方向で 対向させて挟む構造の振動部とを有する圧電共振子にお いて、振動部の上部電極6及び下部電極5が対向して重 なる部分の形状は、厚み方向視で、長さが振動波長の1 0倍以下である平行な辺を有し、且つ対向しあう電極端 面間の距離が異なっている部分を少なくとも1箇所以上 有する、長方形及び正方形以外の四角形、または五角形 以上の多角形である。
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