Old Web
English
Sign In
Acemap
>
Paper
>
Reaktywne trawienie jonowe heterostruktur AlGaN/GaN w plazmie Cl₂/BCl₃
Reaktywne trawienie jonowe heterostruktur AlGaN/GaN w plazmie Cl₂/BCl₃
2011
J. Gryglewicz
Waldemar Oleszkiewicz
Mateusz Wośko
A. Szyszka
B. Paszkiewicz
Keywords:
Reactive-ion etching
Photochemistry
Materials science
DC bias
Optoelectronics
algan gan
Correction
Source
Cite
Save
Machine Reading By IdeaReader
4
References
0
Citations
NaN
KQI
[]