Efectos de las descargas electrostáticas (ESD) en estructuras de protección de circuitos integrados analizados mediante microscopia de emisión

La microscopia de emision permite la localizacion no destructiva de algunos tipos de fallos en circuitos VLSI . Los mecanismos de fallo que se pueden detectar con esta tecnica son basicamente ruptura de oxidos de puerta, fatch-up y ruptura de uniones; en general defectos que inducen pequenas corrientes de fuga. Mediante esta tecnica se han evaluado los efectos inducidos por descargas eletrostaticas (ESD) simuladas segun el modelo del cuerpo humano (HBM), en estructuras de proteccion de circuitos integrados.