Raser-charged particle

Wenn eine abgetastete Abbildung eines Raster-Ladungsteilchenmikroskops von einer auseren Storung beeintrachtigt ist, kann die Frequenz der Storung einfach und genau anhand der Abbildung analysiert werden und in der Folge die ausere Storung bestimmt werden. Die mit dem Raster-Ladungsteilchenmikroskop analysierbare maximale Frequenz kann dabei bis zu einigen kHz betragen, was der Rotationsfrequenz von zum Beispiel einer Turbomolekularpumpe entspricht, die gewohnlich als Vakuumpumpe fur das Raster-Ladungsteilchenmikroskop verwendet wird. In einer FFT-Analyse eines Streifenmusters, das eine Beeintrachtigung der abgetasteten Abbildung darstellt, fuhrt das Raster-Ladungsteilchenmikroskop eine eindimensionale FFT (1D-FFT) in der Y-Richtung (der Nebenablenkrichtung des Strahls geladener Teilchen) oder eine eindimensionale DFT (1D-DFT) in der X-Richtung (der Hauptablenkrichtung des Strahls geladener Teilchen) aus. Um die analysierbare maximale Frequenz auf mehrere kHz zu erhohen, fuhrt das Raster-Ladungsteilchenmikroskop auch eine 1D-FFT-Analyse (oder 1D-DFT-Analyse) in der X-Richtung (der Hauptablenkrichtung des Strahls geladener Teilchen) aus, langs der der Strahl geladener Teilchen eine hohe Abtastgeschwindigkeit aufweist.