ゼオライト用原料液体、ゼオライト結晶作成方法、ゼオライト用原料液体の作成方法、およびゼオライト薄膜
2004
【課題】 MFI型以外のゼオライト結晶を主成分とする場合であっても、ゼオライト薄膜の十分な強度を確保でき、誘電率低減、表面の平坦性向上、また疎水性向上をも実現し、さらに作成工程の簡略化による低コスト化も可能となるようにする。 【解決手段】 この発明のゼオライト用原料液体の作成方法は、TEOSとTBAOHと水とアルコールとからなる合成溶液を熟成させた後、所定温度で水熱合成処理を施してMEL型のゼオライトナノ結晶を作成し、そのMEL型のゼオライトナノ結晶を含むゼオライト結晶溶液に、アルコール系有機溶剤、アミド系有機溶剤、ケトン系有機溶剤の少なくとも1つの有機溶剤、あるいは2以上の混合有機溶剤を混合してゼオライト用原料液体を作成する、ことを特徴としている。 【選択図】 図1
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