Hoon-Mo Jung

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Sang‐Suk Lee

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Fabrication and Usage of a Multi-turn μ-Coil and a PR Channel Combined with a Dual-type GMR-SV Device

Journal of Magnetics (2017)

Jong‐Gu Choi Hoon-Mo Jung Sang‐Suk Lee

The dual-type GMR-SV thin films and devices with multi-turn μ-coil and PR channel for detection of red blood cell (RBC) using ion-beam deposition system and lithography process were developed and used to one biosensor. The magnetoresistance (MR) ratio of a dual-type GMR-SV device post-annealed at a temperature of 200°C was 2.5 %, the magnetic field sensitivity (MS) was 0.6 %/Oe, and the coercivity (H_c) was 0.5 Oe. An AC magnetic field was generated in the vertical direction at the center of GMR-SV device using a multi-turn μ-coil. The magnetic beads (MB) coupled to the RBCs were controlled by the AC input current applied to a multi-turn μ-coil, measured as output signal as MR variation during a staying time of 0.5 s in the GMR-SV device. This result implies that the output signal of a dual-type GMR-SV device can analyze the detection state of the RBC passing through the center of a multi-turn μ-coil and PR channel.

SIGNAL (programming language)

Turn (biochemistry)

10.4283/jmag.2017.22.4.649

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Fabrication and Property of Three Helical Coils and Dual-type GMR-SV Device for Application of Biosensor

Journal of the Korean Magnetics Society (2017)

Jong‐Gu Choi Hoon-Mo Jung Sang‐Suk Lee

반강자성체 IrMn 기반 이중구조 GMR-SV 박막을 리소그래피 공정과 Ar-이온 밀링 공정, 그리고 lift-off 공정을 거쳐 바이오센서용 소자와 코일을 제작하였다. Cu 박막을 적층하여 회전수가 각기 다르게 패턴한 3가지 나선형 코일을 폭이 2 ㎛인 GMRSV 소자 위 중심에 놓이게 하였다. 하부층 나선형 코일의 중심 끝과 상부층 코일 전극이 겹치는 부분이 분리되도록 부도체 층인 SiO₂ 박막을 100 ㎚를 증착하였다. 각각 두번, 세번, 네번으로 감은 코일에 동일한 dc 전류를 10 ㎃까지 인가하였을 때, 코일 평면의 수직 방향인 코일의 중심부 z = 0 점에서 자기속 밀도의 최대값은 각각 1820 μT, 2400 μT, 3090 μT이었다. GMR-SV 소자를 2단자로 측정한 자기저항비는 2.08 %이었고 거의 선형적인 히스테리시스 특성을 유지한 채 평균 자장감응도는 0.2 %/Oe 이하로 나타내었다. 적혈구의 표면에 흡착된 여러 개의 자성비드들이 8 ㎛ 폭 크기의 PR 채널로 지나 통과할 때 각각 두번, 세번, 네번으로 감은 코일에 인가되는 전류로 자기장으로 발생시켜 정지시킨 후, GMR-SV 소자의 출력신호값으로 검출될 수 있는 가능성을 보여주었다.

Lift (data mining)

10.4283/jkms.2017.27.6.215

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